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10月24日,德州市协同发展督查评议到德州经济技术开发区,察看了山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目。根据项目推进计划,该项目将于2019年底主体封顶。
据一期项目土建负责人介绍,该项目计划2019年底主体封顶,2020年3月底完成机电安装和动力设施调试,2020年6月底完成工艺设备调试并试产。
据悉,本次项目是由有研科技集团、日本RST株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资,山东有研半导体材料有限公司建设。有研科技集团是国资委管理的96家央企之一和国内有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构,在国内唯一掌握18英寸硅单晶技术、12英寸硅片技术,率先实现8英寸硅片商业化,12—18英寸硅单晶产品可满足全球最先进的半导体设备应用要求。
据齐鲁网报道,该项目属于德州东部城区创新组团的龙头项目,更重要的是,目前这个项目规模也是北方最大的半导体材料基地。
项目一期占地326亩,建筑面积22万平方米,建设直拉车间厂房、硅片厂房、动力中心等,搬迁北京现有的6英寸、8英寸硅晶圆、8英寸单晶硅生产线并扩大产能,形成年产8英寸硅片276万片、6英寸硅片180万片、12—18英寸大直径硅单晶300吨的生产能力。二期项目建设12英寸硅晶圆中试线科研成果产业化基地,年产360万片12英寸硅片。
据了解,本次项目于今年3月份举行开工仪式,同时也是山东2019年省级重点项目。总投资约80亿元,分两期建设,一期新建年产180万片的8英寸硅片生产线,二期规划年产360万片12英寸硅片。